Semicondutor
Instrumentos de pressão para fabricantes de semicondutores
Espera-se que o crescimento significativo da indústria global de semicondutores continue por muitos anos. Os principais fatores contribuintes para esse crescimento incluem o aumento na incorporação de microeletrônica em dispositivos elétricos e eletrônicos, inteligência artificial, IoT (software e outras tecnologias conectadas) e a expansão das iniciativas da Indústria 4.0. Conforme essas mudanças ocorrem, os fornecedores de semicondutores enfrentam o desafio de melhorar o fornecimento para atender à demanda, ou seja, aumentar a densidade do transistor, melhorar a confiabilidade e, é claro, reduzir os custos de produção e compra.
A Ashcroft está pronta e à disposição para ajudar os fabricantes de semicondutores a enfrentar e superar esse desafio. Equipados com ampla experiência específica no setor, temos o conhecimento e as habilidades para ajudar a desenvolver, projetar, fabricar e testar os instrumentos e equipamentos necessários para a produção de semicondutores de alta qualidade.
Oferecemos uma variedade de produtos de medição de pressão, incluindo transmissores com nossa tecnologia patenteada de detecção CVD ultra estável, adequados para uso em aplicações de fabricação de semicondutores. O desempenho de nossos produtos está associado a aprovações de segurança globais e a um legado de sucesso nas aplicações de semicondutores mais críticas.
Em ferramentas para semicondutores, o painel de gás controla o fluxo de gás na câmara de processo. Transmissores de pressão são instalados dentro do painel em cada uma das varas de gás, para monitorar a saída de pressão do regulador de pressão. Essa posição permite que eles enviem sinais que ajustam a operação do sistema com maior precisão, exatidão e velocidade, resultando em um melhor funcionamento geral do sistema.
Importância da medição de pressão na fabricação de semicondutores
Hoje, as operações de fabricação de semicondutores dependem do fornecimento preciso de gases de pureza ultra alta (UHP), que exigem níveis de pureza superiores a 99,9995% e controle rigoroso sobre partículas dispersas e umidade. Dada a importância dos sistemas de suprimento de gás UHP, as tecnologias de medição e controle utilizadas para sua distribuição devem oferecer alta precisão, desempenho de alta exatidão, mantendo a limpeza absoluta dentro do sistema. Os materiais de construção devem permanecer inertes quando em contato com os gases UHP, minimizar o risco de volume retido (morto) e evitar o derramamento e o aprisionamento de partículas.
Embora essenciais para a fabricação de semicondutores modernos, a toxicidade e a inflamabilidade dos gases UHP apresentam riscos significativos à saúde e ao bem-estar de quem os manuseia. Por esse motivo, alguns dispositivos usados em operações de semicondutores devem estar em conformidade com as especificações e padrões de integridade de vazamento e locais perigosos (por exemplo: ATEX e IECEx) para garantir a segurança do usuário.
Instrumentos de pressão Ashcroft para fabricação de semicondutores
Soluções Ashcroft de medição de pressão de alta pureza
Transmissores de alta pureza ZT e medidores de pressão de alta pureza HPX
Nossos transmissores de pressão ZT/ZX e medidores de pressão HPX são especialmente projetados para uso em aplicações de semicondutores. Esses produtos apresentam peças úmidas de aço inoxidável 316L eletropolido e conexões modulares e para tubos de solda compatíveis com VCR com volumes mortos mínimos. Eles têm designs compactos que acomodam configurações de montagem de alta densidade dentro de caixas de gás e sistemas de distribuição de gás. O ZX11 inclui aprovações ATEX e IECEx para locais com risco de explosão.
Soluções Ashcroft de medição de pressão de alta pureza
Tecnologia de Sensor Si-GlasTM
Transmissores de baixa pressão diferencial para salas limpas e espaços limpos
Muitos de nossos transdutores de pressão diferencial, incluindo DXLdp, CXLdp, AXLdp e GC30, são integrados à tecnologia Si-GlasⓇ, que os ajuda a acomodar as necessidades de monitoramento e controle altamente críticas de aplicações de pressão diferencial ultrabaixa. Faixas de pressão tão baixas quanto 0,05 pol H2O
(12,5 Pa) permitem o controle mais rígido em pressões incrivelmente baixas.
Nossos medidores da série 1130 são projetados para incorporação em caixas de passagem, equipamentos de manuseio de wafer e painéis de parede com faixas de pressão diferencial tão baixas quanto 0,6 pol H2O
(150 Pa).
Tecnologia de Sensor Si-GlasTM
Confie nos nossos especialistas
Nossa equipe é composta por técnicos e engenheiros presentes em fábricas, escritórios regionais e em uma ampla rede de distribuidores, que oferecem atendimentos especializados em vendas e suporte técnico. Estamos aqui para ajudá-lo a identificar os instrumentos ideais de pressão e temperatura e entender como eles podem melhorar o seu processo.